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INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。 CDG100D 真空计温度控制在 100 o C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。 在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的对数压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。 陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。 INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
优势
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
- 合规性和标准： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
应用
- 蚀刻、PVD、CVD 及其他半导体生产过程
- 化学和腐蚀性高温过程
- 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
相关技术资料
产品样本和数据表:
技术资料:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
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操作及维修手册:
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Communication Protocol - Profibus, CDG100D
English
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Operating Manual - CDG100, CDG100-H, CDG160
English
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Operating Manual - CDG100, CDG100-H, CDG160
German
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