Bayard-Alpert Pirani 真空计 BPG402-S
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INFICON Bayard-Alpert Pirani 复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和 Pirani 两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5 X 10 -10 mbar至大气气压（3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济高效的方式执行基本压力测量。 传感元件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。
优势
*从 5 x 10 -10 mbar 至大气气压（3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
- 10 -8 - 10 -2 mbar 过程压力范围内低至 5% 的优良的可重复性。
- Pirani 联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
- 备有可选的图形显示器和现场总线接口
- 高真空Pirani 自动调节，减少操作员的干预
- 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性
应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Datasheet - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP
English
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操作及维修手册:
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Communication Protocol - BPG402-SD
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EDS for BPG402 with Float EDS
English
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EDS for BPG402 with Integer EDS
English
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Instruction Sheet - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP
English
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Operating Manual - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP
English
| German
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