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Crystal 12 传感器
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INFICON Crystal 12 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。 Crystal 12 传感器在一个传感器头中含有 12 颗石英监控器晶体，为 OLED、MBE、太阳能或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。 与 Cygnus、XTC/3M、XTC/3S、SQC310 或 SQC310C 结合使用时，CrystalSix 在当前晶体失效或不稳定的情况下，会自动将新的晶体转动到适当的位置。 晶体更换是自动完成的，不会中断您的过程，支持持续监控沉积速率。 为进一步最小化停工时间，可以将晶体预先加载到另一个可选旋转传送带上，这样，可以直接轻松快速地更换装有失效晶体的旋转传送带，从而最大限度缩短系统打开的时间。
晶体索引通过气动机制完成。 相比同类装置使用的昂贵的真空发热电机，这种气动马达可提供更好的热稳定性。 一个 8 英寸的水冷却管保持传感器头的热稳定性，并提供晶体位置的灵活性。
功能概览
- 装有 12 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间
- 易于拆卸的旋转传送带允许快速更换所有 12 颗晶体
- 晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定
- 易于拆卸的前沉积罩保护晶体和旋转传送带上不会积存材料，从而最大限度减少拆卸整个传感器以进行维护的必要性
- 可选安装后套件允许用户根据公制硬件大小自行修改
- 提供可选晶体闸
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Datasheet - Crystal 12 Sensor
English
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