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FabGuard 传感器集成与分析系统
工具管理，特定于过程

INFICON 传感器集成与分析系统提供过程验证和控制（包括关键过程参数的批次控制），以便优化过程，并将检测到的任何故障及其可能原因实时自动反馈至过程设备或过程工程师。

FabGuard 传感器集成与分析系统从现场传感器读取数据，将该数据与来自过程设备本身的数据集成，然后对其进行精炼和分析，为过程工程师提供可行性信息。 工程师也可以选择让 FabGuard 自动将控制命令直接发送到过程设备。

强大的数据管理功能提高生产力

让工厂的数据满足您的需求。 FabGuard 传感器集成与分析系统可提供过程控制并降低因过程偏移、污染、工具故障或非必要测试晶圆造成的损失，从而提高加工生产率。

FabGuard 可持续监控和控制您的过程。 FabGuard 首先会自动从 INFICON 传感器以及加工所用的内置传感器收集所有可用信息，以便正确运作。 此数据会存储起来，分析结果会保存在一个 SQL 可搜索数据库中。 操作员可以通过单个一致且易于使用的界面查看此信息。 FabGuard 随后会使用精密的实体模型和统计技术对数据进行分析，同时查找多个参数之间的相关性并将该过程与之前的运行所产生的模型进行逐秒对比。 这些稳健的技术使 FabGuard 能够可靠地检测过程事件，使其能够用于过程控制，以便快速检测过程偏移并显著减少错误警报。

管理过程、工具或整个工厂 FabGuard 先进的数据分析能够创建可靠的信息，这些信息可用于先进的过程控制，包括基于事件的过程控制技术（例如终点检测）、继续/终止过程控制技术、统计过程控制 (SPC) 技术以及批次控制，甚至还可以用于正在运行过程的实时故障检测和修改。 这样，过程会变得更加稳定，用户无需使用大量测试晶圆或耗费大量过程设置时间即可检测到问题，从而使产量得以提高。

FabGuard 功能概览
  • 为过程控制和故障查找提供的批次分析和实时分析，可减少碎片并改进过程控制
  • 对历史文件的自动化数据收集和存储，可增强结合多个传感器数据的 SPC 数据，从而减少硬件冗余，同时还允许集成来自整个工具、过程或工厂的所有数据以方便访问和分析。
  • 为所有工具数据提供统一的用户界面，可降低学习难度
  • 故障分类有助于更快地响应问题，从而将停工时间缩至最短
  • 全面分析工具/过程状况，为预防性维护人员提供帮助。

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相关技术资料

产品样本和数据表:

   Brochure - FabGuard Sensor Integration and Analysis System
English

技术资料:

   Application Note - Achieving Process Understanding and Real-time Fault Detection on a PVD Tool
English

   Application Note - Transfer Chamber Monitoring / 200mm and 300mm PVD Cluster Tools
English

   Technical Note - DC Power Fault Detected by FabGuard
English

   Technical Note - Detecting Contamination in a Transfer Chamber by a CVD Chamber Using FabGuard
English

   Technical Note - FabGuard Data Management
English

   Technical Note - FabGuard HYT In Situ Particle Monitor and Tool Data Sensor
English

   Technical Note - FabGuard Sensor Integration and Analysis System: Return on Investment
English

   Technical Note - FabGuard Tool Data Sensor for Equipment Data Collection and Diagnostics
English

   Technical Note - Principal Component Analysis for Fault Detection on Implanter with FabGuard
English

   Technical Note - Statistical Process Control with FabGuard
English

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