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하나의 완전히 통합된 시스템으로 데이터 수집, 분석, 차단 및 보고
FabGuard는 모든 사용자와 모든 상황을 위한 제조공장의 FDC 시스템용으로 설계되었습니다. 이 시스템은 완전한 데이터 수집 및 분석 기능을 광범위한 엔터프라이즈 기능과 결합합니다.
수집 및 분석
- MHz 아날로그 데이터 수집
- > 10 Hz 도구 데이터 수집(도구가 가능할 경우)
- 고급 센서의 내재된 동적 제어 (내재적 제어는 센서를 누출 점검과 RF 전달 문제 해결과 같은 FDC 및 비FDC 응용분야에 사용할 수 있게 해줍니다)
- 툴 물류 정보
- 엔드포인트 및 주요 고장 검출을 위한 데이터 포인트별 분석
- 조정(수학적 조작), 프레이밍 및 요약을 포함하는 정교한 데이터 준비
- 다음을 포함하는 고급 모델링
- Multivariate fault detection: PCA, Discriminant Analysis, Envelope
- Virtual metrology with recipe optimization: PLS, Stepwise Regression
- Root cause investigation
- SPC: univariate and multivariate
엔터프라이즈
- 도구, 공정, 라인 및 제조공장의 요약 및 비교를 위한 광범위한 데이터 마이닝 도구가 있는 유연한 데이터베이스
- 모든 보고서, 알람 등에서 원시 데이터까지 완전한 드릴다운(drill down)
- 웹 브라우저를 통한 원격 접근으로 중앙 관리
- 전체 제조공장의 멀티레벨 보안
공정 및 도구 지식에 근거한 지원
INFICON은 FDC 소프트웨어를 이해할 뿐만 아니라 툴들과 공정들도 이해하는 엔지니어들을 통해 현지 지원을 제공합니다. 이는 당사가 각 툴에 대해 가장 효과적인 시스템을 설치하도록 지원한다는 것을 의미합니다. CVD 오염, 에칭의 파워 전달, 리소그래피에서의 포토레지스트 감시, 생산량 예측을 위한 고급 모델링 등 문제가 무엇이든 INFICON 엔지니어는 그에 필요한 경험과 지식을 보유하고 있습니다.
기능 확장의 이점을 제공하는 안정된 사용자 경험
업계의 공정들이 점점 복잡해짐에 따라 INFICON은 고객을 파트너로 대우하며 고객들이 필요로 하는 것이 무엇인지 파악합니다. FabGuard의 제품은 전세계의 여러 제조공장의 많은 사용자로부터 파악된 요구사항들을 조합한 것이며 고객은 이들 사용자 모두의 경험으로부터 이익을 얻습니다. 동시에 INFICON은 고객의 독점 정보의 비밀을 항상 엄격하게 지킵니다. 개별 고객이 기능들을 사용하는 방법은 결코 공개되지 않습니다.
공개 설계 - FabGuard가 모든 일을 알아서 하도록 하거나 직접 데이터에 접근해서 자신만의 기능을 만드십시오
FabGuard는 완전한 기능을 갖춘 제품이지만 귀사에서는 가끔 자신만의 기능을 추가하고 싶을 수도 있습니다. 이는 완전히 개방된 데이터베이스 스키마와 데이터 내보내기 기능 및 API를 통해 가능합니다. 원시 데이터나 사전 가공된 데이터를 요청하여 자신만의 분석을 수행하고 결과를 다시 FabGuard로 삽입하여 기존 보고서 및 데이터베이스 마이닝 기능을 재사용할 수 있습니다.
고객의 구체적인 요구사항을 지원하기 위한 유연하면서 통제된 교육
INFICON은 FabGuard 제품군에 대해 포괄적인 교육 프로그램을 제공합니다. 교육은 기본적인 시스템 사용에서부터 고급 다변량 모델링과 시스템 관리에 이르기까지 다양합니다. 또한 교육 프로그램은 라이브 교육 시스템을 사용하여 학생들은 인터넷에 대한 단순한 접근만으로 실습 교육에 참여할 수 있습니다.
제조공장의 다중 사용자들은 ROI를 단축시킵니다
FabGuard는 단순한 FDC 시스템 이상입니다. 이 시스템은 3종류의 동시 사용자를 위해 설계되었습니다. 고급 공정 제어 및 생산량 관리자, 공정 엔지니어, 그리고 설비 엔지니어입니다.
FabGuard는 다른 목적을 가진 다수의 사용자가 제품을 동시에 사용할 수 있게 설계되었습니다. 중앙 관리되는 SPC 보고서는 보호 툴이지만, 특정 챔버에 대한 수동 문제 해결은 설비 수리와 복구를 더 빠르게 완료할 수 있습니다. 다수의 그룹이 동일한 FabGuard 소프트웨어를 사용하기 때문에 구매 ROI가 훨씬 더 빠릅니다.
FabGuard 분석 서버
단순해진 고급 모델링, 데이터 분석 및 시각화 기능
FabGuard FDC
공정, 도구 및 전체 제조공장 관리
FabGuard Explorer
Transpector 가스 분석 시스템용 공정 특성화 소프트웨어
FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템
생산성을 향상시키는 강력한 데이터 관리
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