INFICON SKY CDG045Dマノメーターはトータルな圧力計測とコントロールの高い精度において最良の選択になるでしょう。CDG100Dゲージは摂氏100度に制御された温度で、困難な半導体やプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。100mTorrから1000Torrまでのフルスケール範囲で、全共通のフランジタイプ、フィールドバスインターフェースも一緒に提供しており、0から10ボルトまで直線的にガス種に依存しない圧力信号を送ります。INFICONのキャパシタンスマノメーターは耐腐食性に優れた高純度のアルミナセラミックダイアフラムを使用しています。セラミックセンサの利点は信号がより安定していること、気圧からの早い回復、短いウォームアップ時間と驚くべき寿命です。INFICONのCDGは、困難な半導体、プラズマ、真空の作業に合った高品質で費用効果の高い圧力センサです。
利点
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
- 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
- 適合と標準モデル CE, EN, UL, SEMI, RoHS
用途
- エッチング、PVD、CVDと他の半導体製造プロセス
- 化学物質と腐食性の高温プロセス
- ゲージ保護を要する一般的な薄膜と真空プロセス
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - Profibus, CDG100D
English
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Operating Manual - CDG100, CDG100-H, CDG160
English
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Operating Manual - CDG100, CDG100-H, CDG160
German
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Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
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