SKY CDG025D キャパシタンスダイアフラムゲージの高精度なラインである温度制御圧力計は厳しい製造装置環境で安定した性能を発揮するようデザインされています。高度なデジタル電子工学がゲージの性能を向上させ、ワンプッシュボタンによるゼロ点やセットポイント調整といった機能を実現しました。耐腐食性に優れた高純度セラミックセンサは優れたゼロ点の安定と、空気圧変化によるバーストを含む数百万回のプレッシャーサイクルを予期した上での長い寿命を提供します。このユニークなセンサシールド（特許申請中）がゲージをプロセス汚染から守ります。ロバストな機械デザインとデジタル電子工学が、EMC互換性、長期安定性と温度制御を向上させました。CDG025Dキャパシタンスダイアフラムゲージは、パワー入力後のすばやい安定化、空気圧からのすばやい回復への新たな基準を定めました。
特長一覧
- 100 mTorrから 1000Torrのフルスケールレンジ
- パワー入力後にすばやく安定
- 空気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサ
- 優れた長期安定信号
- 温度制御
- 汚染からのセンサ保護
- ワンプッシュボタンでゼロ点設定
- 広範囲の電源
- 2セットポイント（オプション）
- RS232インターフェース （オプション）
用途
- エッチング、CVD、PVD、ALD用半導体製造装置
- データ保管と製造装置ディスプレイ
- 工業用真空装置
- 経済的で高精度の圧力計測
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - CDG025D SKY Capacitance Diaphragm Gauge
English
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Datasheet - CDG025D-X3 SKY Capacitance Diaphragm Gauge
English
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Operations and Maintenance Manuals:
Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
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