半導体プロセス用にカスタムデザイン
INFICONの熱排気管はCVD、エッチング、そして排気管汚染が発生する恐れのあるその他プロセスにお勧めです。
排気管壁に蓄積されるプロセス副生物は誘電率を下げ、微粒汚染の可能性を増加させます。
温度を処理する熱排気管は凝縮物を取り除き、重要なプロセスコントロールパラメーターの行程から行程への反復性を向上させます。他にも、有害化学物質への接触を軽減し、大掛かりな予防メンテナンススケジュールも減らすという利点があります。
特長一覧
- モジュラーアッセンブリ
- カスタムコンフィグレーション
- 優れた温熱作用
- 温熱調整された壁温度
- 統合温熱保護
- LTAコントロールサーキットモニターが個別に加熱作用
- 触ると冷たい外部表面
- ユニークな接続プロセスで冷点を取り除き、すばやいウォームアップで温熱移動を向上させ、ヒーターを長持ちさせます。
- エネルギー消費を抑える
- UL, SEMI S2と CE をマーク
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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