INFICONのCrystal12センサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに欠かせないものです。OLEDであれ、MBEや太陽電池、その他チャンバーベント間に長い時間があくプロセスであれ、Crystal12センサは12個の水晶モニター振動子がひとつのセンサヘッドになっていることによって安全です。Cygnus、XTC/3M、TC/3S、SQC310また SQC310Cと一緒に使用すれば、Crystal12は使用中の振動子が落ちたり、不安定になったりしても自動的に新しい振動子をポジションに回転させます。振動子はプロセスを断絶させることなく自動的に交換されるため、継続して蒸着速度をモニターできます。ダウンタイムを更に短縮したい場合には振動子を予め第 2 のカローセル（オプション）の装着を用意しておくのが良い方法です。消耗した振動子を装着したカローセルと新しいカローセルは簡単かつ迅速に交換が可能なため、システムが開放状態になる時間を最短に抑えることができます。
振動子インデクシングは空気式操作によって完成します。この空気式モーターは、効果な真空内、熱発電電力モーターを使用する競合ユニットよりも、振動子の熱安定性が優っています。8分の1インチの水冷却チュ―ブが、センサヘッドの熱安定性をキープし、センサの取替えをより柔軟にします。
特長一覧
- 12の振動子を装着し、安定した自動切り替えを行うことでプロセス可動時間を最大化
- 取り外しが簡単なカローセルで12の振動子を素早く切り替え
- 振動子の交換が空気式で操作されるため、振動子の温度が安定（他社では発熱モーターを使用）
- 取り外し簡単なフロント蒸着シールドが振動子とカローセルを蓄積物質から保護し、メンテナンスでセンサ全体を取り外す必要性を最小限に
- オプショナルで、マウントポスト式キットをユーザー仕様に調整し、軽量ハードウェアを取り付け
- オプションで振動シャッターもあり
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - Crystal 12 Sensor
English
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