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RFセンシングテクノロジー
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INFICONの市場をリードする感知技術は、RFセンサデザインにおける最新の技術進歩と質の高い製造過程を組合せ、今日の半導体装置プロセス計測のニーズを満たすRF製品のユニークな品揃えを生み出しています。アーク検出やチャンバークリーニング終点のコントロールといったシンプルな作業から、予見モデルの全周波区別RF分析まで、INFICONはあなたのRF感知のニーズを満たす最高の製品ポートフォリオを提供します。
Sion RFディテクター-終点コントロール用
Sion RFディテクター-終点コントロール用
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FabGuard FDCセンサ統合および分析システム
収集、分析、停止、レポート機能が一つの完全統合システムに
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