Der INFICON CrystalSix Sensor ist von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, für die eine kontinuierliche Ratensteuerung notwendig ist. Ob für OLED-, MBE-, Solar-, lange optische Beschichtungs- oder andere Prozesse mit einen längeren Zeitraum zwischen Kammerbelüftungen, der CrystalSix Sensor bietet die Sicherheit von 6 Quarzmonitorkristallen in einem einzigen Sensorkopf. Bei Verwendung mit einem INFICON Thin Film Controller dreht der CrystalSix automatisch immer dann einen neuen Kristall in Position, wenn der aktuelle Kristall ausfällt oder instabil wird. Kristalle werden automatisch und ohne Unterbrechung des Prozesses ausgetauscht. So ist eine dauerhafte Überwachung der Abscheidungsrate möglich.
Die Kristallindizierung wird über einen pneumatischen Mechanismus bewerkstelligt. Ein Motor mit pneumatischem Antrieb bietet eine bessere thermische Kristallstabilität als die Einheiten anderer Hersteller, die teure in einem Vakuum betriebene, Wärme erzeugende Elektromotoren verwenden. 1/8"-Wasserkühlschläuche halten den Sensorkopf thermisch stabil und sorgen für eine flexible Sensorpositionierung.
Bei Verwendung mit einem bestimmten Dünnschichtcontroller von INFICON ermöglicht der Sensor eine Positionsrückmeldung, sodass bestimmte Materialien bestimmte Positionen zugewiesen werden können.
Features auf einen Blick
- Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund pneumatisch betätigter Kristallschaltung (Einheiten anderer Hersteller verwenden Wärme erzeugende Motoren)
- 1/8"-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und flexible Sensorpositionierung
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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