SCHNELLE UND LEISTUNGSSTARKE ANALYSE VON MIKROLICHTBÖGEN
Verringerung von Waferverlusten und höhere Ausbeute
Der INFICON Sion™ RF Detector ermöglicht eine leistungsstarke Echtzeit-Analyse von Plasmamikrolichtbögen, die das Ziel, d. h. die abgelagerte Schicht, und sogar die Waferoberfläche bei CVD- (chemische Dampfabscheidung) und Ätzprozessen beschädigen können. Sion ist das kompakteste aller derzeit verfügbaren Geräte und verwendet das INFICON FabGuard® Integration and Analysis System, um auch die Bögen zu erkennen, die zuvor nicht nachweisbar waren. Die Ergebnisse sind ein geringerer Waferverlust, eine bessere Ausbeute und eine höhere Rentabilität.
Features auf einen Blick
- Beeinflussungsfreier, enorm kompakter Detektor
- Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung (20 KHz)
- Integrierte Datenverwaltung mit FabGuard
Kleiner, einfach anzubringender Sensor großer Nutzen
Die Leistung des Sion wird nicht wie bei verkabelten Inline-Sensoren beeinträchtigt, und die RF-Bezugssystemeigenschaften des Geräts werden nicht geändert. Der extrem kompakte, unauffällige Detektor mit dem innovativen Klemmentwurf wird direkt an das leistungsstarke RF-Bezugssystem der Prozesskammer angeschlossen, um Spannungs- und Stromstärkeninformationen bei Geschwindigkeiten bis zu 20 KHz zu erfassen. Er enthält einen Hochgeschwindigkeitssignalwandler, der direkt mit dem FabGuard-Datenerfassungs- und Analysesystem verbunden ist.
Die Leistung des Sion RF Detector ist einmalig, da große RF-Detektoren an Orten angebracht werden müssen, die möglicherweise nur unzureichende Lichtbogenerkennung ermöglichen.
Anwendungen
FDC-Lichtbogenerkennung für CVD-, Ätz- und PVD-Anwendungen.
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
 |
Brochure - Sion RF Detector for Plasma Arc Detection
English
|
|
 | | Non-intrusive, clamp-on Sion RF Detector delivers high-speed arc detection in CVD and Etch |
|  | | FabGuard Sensor Integration and Analysis System |
|
|
|
