Hochpräzise, wiederholbare Kontrolle des Kammerreinigungsendpunkts zur Kostenreduzierung
Mit dem Sion™ RF Detector erhalten Sie bessere Kontrolle und höhere Erträge bei chemischen Dampfabscheidungs- (CVD) und Ätzprozessen, indem der Kammerreinigungsendpunkt verlässlich und präzise bestimmt wird. Eine präzisere Endpunktbestimmung bedeutet niedrigere Mengen von Partikeln auf den Wafern und mehr Zeit zwischen präventiven Wartungszyklen.
Das FabGuard® Integration and Analysis System bietet im Vergleich zu auf optischen Emissionsspektrometern basierenden Controllern eine Reihe von Vorteilen und wird deshalb von Sion verwendet, um den Zeit- und Materialaufwand zu reduzieren, der durch das Unter- oder Überätzen bei der Kammerreinigung entsteht.
Features auf einen Blick
- Leichter, direkter Austausch bei OES-basierten Instrumenten für eine präzisere Endpunktkontrolle
- Eliminiert Unter- oder Überätzung bei der Kammerreinigung und reduziert dadurch Zeit- und Materialkosten.
- Kosteneinsparung, da weniger Reinigungsgasdurchfluss erforderlich ist
- Erhöht die Gerätelaufzeit, da Wartung und Austausch von Kammerfenstern überflüssig werden
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Sion RF Detector for Endpoint Control
English
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 | | Sion RF Detector for Endpoint Control Eliminates Over-Etching for Increased Throughput |
|  | | FabGuard Sensor Integration and Analysis System |
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