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UL1000 Fab Helium Leak Detector
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Eine neue Dimension in Bezug auf Stabilität und Reaktionsvermögen bei Lecks bis zu 10 -12 atm/css*
Der INFICON UL1000 Fab Mobile Helium Leak Detector wurde speziell für die Anforderungen von Halbleiteranwendungen entworfen.
Beim UL1000 Fab wurde besonders auf Bedienungsfreundlichkeit, Leckerkennungseffizienz und Mobilität innerhalb der Werksumgebung geachtet. Er bietet in allen Messbereichen eine extrem kurze Reaktionszeit für Leckraten. Durch eine optimierte Vakuumarchitektur, die eine hohe Heliumpumpgeschwindigkeit mit hohen Einlassdrücken kombiniert, weist der UL1000 Fab eine beispiellose Leckratenstabilität bis in einen Bereich von < 5x10-12 atm cc/s auf. Mit der firmeneigenen Software I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm of Leak Rates) gehören lange Reaktionszeiten in niedrigen Leckratenbereichen der Vergangenheit an. Der UL1000 Fab reagiert schnell auf alle Leckratenbereiche.
Mit dem Zusatz des TC1000 Test Chamber-Zubehörs ermöglicht der UL1000 Fab Helium Leak Detector einfache, schnelle und präzise Tests von hermetisch versiegelten Teilen wie IC-Paketen, Quarzkristallen und Laserdioden (gemäß MIL-STD 843, Methode 1014).
Features auf einen Blick
- Großer Messbereich über 15 Dekaden
- Schnelles Abpumpen und kurze Reaktionszeit
- Mobiles Ganzmetallgehäuse für zusätzlichen Komfort mit uneingeschränkter Beweglichkeit
- I-CAL für schnelle Reaktionszeiten bei Lecks in allen Messbereichen
- Nullfunktion mit automatischer Anpassung der Integrationszeit für schnelle und zuverlässige Testergebnisse
- Intelligenter Vakuumentwurf mit robuster Scrollpumpe und Turbomolekularpumpe mit mehreren Einlässen für eine hohe Heliumpumpgeschwindigkeit mit hoher Kompression
- Die drehbare Anzeige und Benutzeroberfläche ermöglichen eine bedienungsfreundliche Steuerung und Interaktion mit der Einheit
- Selbstschutzfunktionen zum Schutz des UL1000 Fab vor Helium- und Partikelverunreinigung
- Automatischer Spülzyklus für das Sicherstellen der Reinigung, Vorbereitung auf Aktualisierungen der Testsoftware per E-Mail
- Robustes Massenspektrometersystem mit Ionenquelle mit zwei Filamenten (3 Jahre Garantie) gewährleistet lange Laufzeiten und geringe Wartungskosten, bietet integriertes Testleck zur internen Kalibrierung für präzise Testergebnisse
- Integrierte Softwaremenüfunktion "Auto Leak Test" zum Durchführen automatischer Tests für hermetisch versiegelte Komponenten mit der TC1000 Test Chamber
Anwendungen
- Wartungsarbeiten an Halbleiterprozessgeräten mit oder ohne Unterstützung durch die zugehörige Pumpe
- Inspektion und Installation von Prozessgassystemen
- Lecktests an Komponenten, bevor diese in bestehende Geräte installiert werden
- Anwendungen, die eine hohe Pumpgeschwindigkeit und Empfindlichkeit sowie saubere Testbedingungen erfordern
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - RC1000 Remote Control
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Brochure - TC1000 Test Chamber
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Catalogs:
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Catalog - INFICON Leak Detectors
English
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