Der INFICON Transpector® CPM gibt frühe In-Situ-Warnungen aus und ermöglicht Kostensenkungen durch folgende Funktionen:
Messen von Gasphasenreaktionen
Sicherstellen der Vakuumintegrität
Identifizieren von Verunreinigungen im Spurenbereich
Messen der Prozess- und Hintergrundzusammensetzung
Sicherstellen der Gasreinheit
Der Kompaktprozessmonitor INFICON CPM ist ein kompakter und kostengünstiger Gasanalysator mit sämtlichen Funktionen für die lokale Überwachung komplexer Prozesse. Dieses Trockenpumpsystem verwendet die bewährte Technologie des Transpector 2 Gas Analysis System von INFICON, um eine optimale Leistung zu erzielen.
CPM-Features auf einen Blick
Quadrupolbasiertes Gasanalysesystem zur Überwachung komplexer Prozesse.
Ermöglicht eine Rundumüberwachung für maximale Ausbeute und maximalen Durchsatz. Dies sorgt für Kosteneinsparungen.
So kompakt und preisgünstig, dass es in jeder Hochdruck-Vakuumkammer installiert werden kann.
HexBlock™-Probenahmesystem sorgt für maximale Leistung.
Eingebaute CDG für Prozessdrucküberwachung und Vakuumverriegelung.
Optionale Kalibrierungsreferenz für Abstimmungs- und Gasreferenz verfügbar.
long-life closed ion source permits contaminant detection at sub-ppm levels while resisting most corrosive and reactive gases.
Leicht und bequem zu tragen.
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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Brochure - Transpector CPM Compact Process Monitor English
Technical Information:
Application Note - Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
English
Technical Note - Choosing the Appropriate RGA English
Technical Note - Etch Process Monitoring with the Transpector Residual Gas Analyzer English
Technical Note - Gas Purge and CPM Sensor Lifetime English
Technical Note - Heating Jackets Can Improve RGA Performance
English
Technical Note - The Optimization of Electron Energy for RGAs English
Technical Note - The Use of Quadrupole Mass Spectrometry to Detect Sub-PPM Level Contaminants in Gas-Phase Samples and Processes English
Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
English
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