Inficon





Worldwide


Display

Products:


> Dünnschichtabscheidungs-Controller/-Monitore
> Electron Beam Gun Crucible Indexer
> FabGuard Software-Suite
 
•  FabGuard Analysis Server
•  FabGuard Explorer
•  FabGuard FDC
•  FabGuard Sensor Integration and Analysis System
   
> Leckdetektoren
> Quarzkristallsensoren
> Quarzmonitorkristalle
> RF Sensing Technology
> Research Quartz Crystal Microbalance (RQCM)
> Restgasanalysatoren
> Vakuumkomponenten
> Vakuummeter
> Vakuumventile und Gasdosierungssysteme



FabGuard Analysis Server
Erweitert vorhandene Fehlererkennungs- und Klassifizierungssysteme


Erweiterte Modellierung, Datenanalyse und Visualisierung auf einfache Art


Höhere Ausbeute durch Erweiterung der Prozessdatenanalyse

FabGuard Analysis Server (AS) ermöglicht eine Analyse aller Variablen in der Werksumgebung, um erweiterte Mehrgrößen-SPC (statistische Prozesssteuerung) und Modellierung anzuwenden. Durch die vielen fortschrittlichen Mehrgrößen-Analysewerkzeuge in FabGuard AS werden Fehler festgestellt, die durch die Interaktion mehrerer Prozessvariablen verursacht werden. FabGuard Analysis Server erweitert auf einfache Weise den Funktionsumfang von bestehenden FDC-Systemen, da Techniker die Möglichkeit haben, Fehler zu erkennen, die mit Einzelgrößen-SPC normalerweise nicht festgestellt werden. Viele Fehler werden durch die komplexe Interaktion von zahlreicher unterschiedlicher Ausrüstung und Prozessparametern verursacht. FabGuard AS bietet mehrere fortschrittliche Techniken zur Fehlererkennung, Fehlerklassifizierung und messtechnischen Prognose. Diese Werkzeuge ermitteln Abweichungen, die einfache Einzelgrößen-FDC-Systeme niemals feststellen können. FabGuard AS stellt Technikern leistungsstarke Werkzeuge zur Ermittlung schwer feststellbarer Fehler zur Verfügung.

QUESTIONS? Contact your local representative, click here.

ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Brochure - FabGuard Analysis Server
English

Request Further Information from Inficon.
REQUEST INFO. I'd like additional information, click here.


Contact your local representative.


GOT A SHOT? Send us your photo of an INFICON product at work. We'll send you a very cool gift!